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2007

成长潜力奖

张江高科技园区

2008

工博会创新奖-12英寸65纳米单片晶圆清洗设备

中国国际工业博览会组委会

2009

发明专利证书

专利号:ZL 2009 1 0050834.2

2010

中国半导体创新产品和技术

中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

年度优秀创业者

2011

优秀参展产品奖-无应力抛铜

中国半导体行业协会、中国国际贸易促进委员会、上海集成电路行业协会

优秀创业企业

突出贡献企业

上海市张江高新技术产业开发区管理委员会、上海市人力资源和社会保障局、上海市公务员局

2012

优秀参展金奖

中国半导体行业协会、中国国际贸易促进委员会、上海集成电路行业协会

2013

创业大赛优胜企业

创业大赛组委会、上海市科技创业中心、上海市大学生科技创业基金会

科学技术奖二等奖-单片晶圆清洗设备研发与应用

上海市浦东新区人民政府

工博会铜奖-兆声波单片清洗设备

中国国际工业博览会组委会

国家高新区百新企业

中国高新技术产业导报、中国高新技术产业开发区协会、中国高新区研究中心

2014

发明专利证书

专利号:ZL 2014 8 0079603.3

2015

发明专利证书

专利号:ZL 2015 8 0080188.8

2016

新制程快速量产

中芯

2015年中国半导体设备十强单位

中国电子专用设备工业协会

感谢牌

海力士

2017

科学技术奖三等奖-单片晶圆涂胶设备研发与应用

上海市浦东新区人民政府

上海市专利工作试点企业

上海市知识产权局

微信年度企业

2016年中国半导体设备行业十强

中国电子专用设备工业协会

2018

2017年中国半导体设备十强单位

中国电子专用设备工业协会

中国半导体创新产品和技术奖-先进封装电镀设备

中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

中国半导体创新产品和技术奖-TEBO

中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

创新奖-兆声波单片清洗机

集成电路产业技术创新战略联盟

2019

2018年度优秀供应商

华力

2018年中国半导体设备五强企业

中国半导体行业协会

最佳成果奖

SK海力士

2019年卓越影响力上市企业

张江科投企业年度交流会

杰出企业

久友基金

华虹集团2019年供应商大会感谢牌

华虹集团

科技创新奖

中国国际工业博览会组委会

2018年中国半导体设备十强单位

中国电子专用设备工业协会

2018年度上海市集成电路设备业销售前十名

上海市集成电路行业协会

2020

2019年度最具潜力供应商

华力半导体

开放创新合作奖

华虹集团

中国半导体创新产品和技术奖-Tahoe

中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

上海市集成电路先进湿法工艺设备重点实验室

上海市科学技术委员会

2019年度中国半导体设备五强企业

中国半导体行业协会

2019年度上海集成电路行业设备业前十名

上海市集成电路行业协会

上海市科学技术奖一等奖

上海市人民政府

优秀创新奖

SMIC、SMNC国产设备评审委员会

感谢牌

海力士无锡CNC技术全体成员

2021

上海职工劳动和技能竞赛二等奖

上海市总工会

2020-2021年度上海设计100+入围作品

上海设计100+组委会

上海市集成电路设备业销售前十名

行业杰出贡献奖

高新技术企业证书

上海市科学技术委员会、上海市财政局、国家税务总局上海市税务局

2022

上海市集成电路外资企业半导体设备业销售前五名

上海市集成电路行业协会

成果产业化奖

第五届“IC创新奖”

2023

上海市企业技术中心

上海市经济和信息化委员会、国家税务总局上海市税务局、上海市财政局、上海海关

进门财经

2022年最佳机构覆盖IR团队

2022年度公益慈善奖

中共浦东新区川沙镇委员会、浦东新区川沙新镇人民政府

TBB上海制造业品牌价值榜/SFEO上海企业品牌成长榜

上海市工业经济联合会、上海市经济团体联合会、上海市商业联合会

2022年度上海市集成电路内资半导体设备业销售前五名

上海市集成电路行业协会

专精特新“小巨人”企业

工业和信息化部

临港集团园区领军之星

临港集团

2023电子信息年度十大创新技术(SAPS)

中国电子商会、数字经济观察网

2024

2023年度企业社会公益奖

上海浦东川沙经济园区有限公司

2023年度浦东新区经济突出贡献奖

上海市浦东新区人民政府

2023年度上海市集成电路设备业(内资)销售前五名

上海市集成电路行业协会

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